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介绍石墨坩埚的保养方法


  石墨坩埚的使用范围十分广泛,并且很多人都在使用,我们要学会良好的储存这种产品,确保其使用效果良好。
 
  在石墨坩埚的使用中,经常会遇到一些加热器件损坏的现象,这种器件的损坏可能是人为或者是劣化等原因,如果是人为则需要加强管理,强化员工的防范意识,在石墨坩埚使用中需要轻拿轻放,有时石墨坩埚出现表面损坏的情况,这可能就是由于在搬运时出现了撞击或者是存储环境中没有防潮处理或环境不干燥导致。
 
半导体行业石墨制品
 
  石墨坩埚的养护方法:
 
  对于寿命已经到了期限的,需要进行更换,对于没有到寿命期限的且暂时不用的,需要进行密封在塑料袋中,放入纸箱打包,并注明炉号、更换原因、日期等,妥善保管。对于那些部分发生损坏但是没有到更换期限的石墨坩埚可以更换也可以凑合用,进行密封保存的石墨坩埚再次使用时,建议大家使用在提纯的炉子上。在每次拆炉时,要清理氧化物,并把石墨件上的渗硅清理干净,一些保温盖等部件要擦拭干净,避免一些杂物污染原料,除了在使用中注意人身安全外,还需要注意这种物品要轻拿轻放,确保石墨坩埚的安全。
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